Detta instrument använder beröringsfri, optisk fasskiftande interferometrisk mätmetod, skadar inte arbetsstyckets yta under mätning, kan snabbt mäta den tredimensionella grafiken av ytmikrotopografin för olika arbetsstycken och analysera och beräkna mätningen resultat.
Produktbeskrivning
Funktioner: Lämplig för att mäta ytjämnheten hos olika mätblock och optiska delar; djupet på linjalens och urtavlans riktmedel; tjockleken på beläggningen av gitterspårets struktur och strukturmorfologin hos beläggningsgränsen; ytan på den magnetiska (optiska) skivan och magnethuvudet Strukturmätning; kiselskivans ytråhet och mönsterstrukturmätning, etc.
På grund av instrumentets höga mätnoggrannhet har det egenskaperna för beröringsfri och tredimensionell mätning, och antar datorkontroll och snabb analys och beräkning av mätresultat. Detta instrument är lämpligt för alla nivåer av test- och mätningsforskningsenheter, industri- och gruvföretags mätrum, precisionsbearbetningsverkstäder och även lämpligt för institutioner för högre utbildning och vetenskapliga forskningsinstitutioner, etc.
De viktigaste tekniska parametrarna
Mätområde för ytmikroskopiska ojämnheter djup
På en kontinuerlig yta, när det inte finns någon höjd abrupt förändring större än 1/4 våglängd mellan två intilliggande pixlar: 1000-1nm
När det finns en höjdmutation som är större än 1/4 av våglängden mellan två intilliggande pixlar: 130-1nm
Repeterbarhet av mätning: δRa ≤0,5 nm
Objektiv linsförstoring: 40X
Numerisk bländare: Φ 65
Arbetsavstånd: 0,5 mm
Instrumentets synfält Visuellt: Φ0,25 mm
Fotografi: 0,13×0,13 mm
Instrumentförstoring Visuell: 500×
Fotografi (observerat av datorskärm)-2500×
Mottagarens mätarray: 1000X1000
Pixelstorlek: 5,2×5,2µm
Mätningstid provtagning (skanning) tid: 1S
Instrumentets standardspegelreflektivitet (hög): ~50 %
Reflektans (låg): ~4 %
Ljuskälla: glödlampa 6V 5W
Grönt interferensfilter våglängd: λ≒530nm
Halv bredd λ≒10nm
Huvudmikroskoplyft: 110 mm
Bordslyft: 5 mm
Rörelseområde i X- och Y-riktning: ~10 mm
Arbetsbordets rotationsområde: 360°
Arbetsbordets lutningsområde: ±6°
Datorsystem: P4, 2,8G eller mer, 17-tums plattskärm med 1G eller mer minne